真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。          

一、真空泵的分類

真空系統是用來獲得真空環境的系統，是半導體、科學儀器、化工、制藥行業重要的子系統，應用廣泛，是真空系統重要的組成部分，是用來產生、改善和維持真空環境的裝置，被廣泛應用于制藥、化工、食品、電子等下游行業，需求量大面廣。一般真空泵應用可根據真空度的不同要求和應用領域分為8個類別，包括粗真空、工藝真空、工業真空、半導體、薄膜沉積（除半導體外）、太陽能、儀器制造以及科學研究。對應的產品也各不相同，高/超真空對應低溫泵、 分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等；中真空主要對應干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵；粗/低真空對應單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵。目前半導體領域是真空設備應用規模最大的下游市場，占到整個市場規模的38%。

一般按照真空泵的工作原理，可以將其分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種基本類型。氣體傳輸泵主要是通過不斷地吸入和排除氣體達到抽氣目的，氣 體捕集泵通過使氣體分子被吸附或者凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的。在工業應用領域比較常見的真空泵包括水環真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵等，但是在高端產品領域進口泵依然更受到市場的歡迎，主要還是由于國產泵在壓縮比方面還是略有劣勢，這主要是因為外國泵用的合金比國內鑄件穩定性高，熱脹冷縮也小，里邊的間隙可以做得更精密。

二、行業發展概況

近年來國內真空泵行業由于供給側結構性改革以及國內經濟大環境轉變帶來的影響，一些中小型企業逐步退出市場，由于低端供給過多且傳統制造業下游訂單數量減少導致我國真空泵產量快速下滑。2017-2020年我國泵及真空設備產業規模以上企業主營業務收入由2212.39億元下降至1781.4億元，真空泵產量有1070.93萬臺下降至526.64萬臺，其中國內市場需求下降明顯。2020年以來真空泵行業結構轉型趨勢明顯，干式螺桿真空泵的出現替代了大部分油螺桿真空泵，在制藥、醫療器械、半導體行業均有應用。