分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。

盡量避免頻繁啟停

分子泵在勻速工作時，轉子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉動切線方向的力，相當于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。

另外，分子泵在加速時功率較大，內部發熱比較嚴重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔<30 分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內部的溫度過高，加劇軸承磨損。

根據工藝條件選擇適當的冷卻

分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風冷（風扇冷卻）；對于有些負載很大的應用（比如CVD），或者不方便使用風扇的環境（如輻射環境），需要采取水冷。無論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環境溫度都要保持在 5~35 攝氏度之間，采取水冷時，要采用經過處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿足說明書的要求。

空擋滑行不可取

分子泵工作時轉速很高（數萬轉/分鐘），加減速過程中，不可避免地要經過某些危險的共振頻率，長時間在這些共振頻率運轉，會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉子要經過幾十分鐘甚至數小時的時間才能完全停止，其中在共振頻率運轉的時間也會比較長。

一般建議分子泵停機時，手動或者通過專用充氣閥（Vent Valve），通過充氣口充入空氣/氮氣，增加轉子阻力使其快速停機；手動充氣時，要注意控制充氣速度，使停機時間和分子泵啟動時間相當（根據泵的大小不同而不同，一般為 3~10 分鐘）。