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分子泵的特點,分子泵廠家為你講解
- 分類:行業動態
- 作者:
- 來源:
- 發布時間:2022-11-11
- 訪問量:0
【概要描述】分子泵廠家認為分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的總稱,是獲得高真空和的一種非常常見的設備。分子泵內部有一個高速旋轉的轉子,支撐轉子平穩旋轉的軸承承受著很大的載荷。正確使用和及時維護對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作具有重要意義。
分子泵的特點,分子泵廠家為你講解
【概要描述】分子泵廠家認為分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的總稱,是獲得高真空和的一種非常常見的設備。分子泵內部有一個高速旋轉的轉子,支撐轉子平穩旋轉的軸承承受著很大的載荷。正確使用和及時維護對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作具有重要意義。
- 分類:行業動態
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- 發布時間:2022-11-11
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分子泵廠家認為分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的總稱,是獲得高真空和的一種非常常見的設備。分子泵內部有一個高速旋轉的轉子,支撐轉子平穩旋轉的軸承承受著很大的載荷。正確使用和及時維護對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作具有重要意義。
分子泵廠家認為分子泵恒速工作時,轉子葉片只受到離心力的作用(真空中的阻力可以忽略不計),即遠離軸心方向的拉力;在加速和減速時,葉片還受到旋轉切向的力,相當于彎曲葉片的力。顯然,彎曲葉片對其疲勞壽命的貢獻更大。另外,分子泵在加速時,功率大,內熱嚴重。頻繁的啟停(兩次啟動間隔小于30分鐘)會造成熱量積聚,導致分子泵內部溫度過高,加重軸承磨損。
分子泵廠家認為分子泵的冷卻方式有三種:自然冷卻、強制風冷、水冷。30L/s以下的分子泵可以自然冷卻,不需要氣體負載。分子泵較大或有一定氣體負荷時需要強制風冷(風扇冷卻);對于一些重負載的應用(比如CVD),或者風扇不方便使用的環境(比如輻射環境),就需要水冷。無論采用哪種冷卻方式,分子泵的工作環境溫度都應保持在5-35攝氏度之間。當采用水冷時,應使用經過處理的軟水,冷卻水的溫度和流量也應符合規范要求。
分子泵廠家認為分子泵是利用高速旋轉的轉子將動量傳遞給氣體分子,使其獲得定向速度,然后被壓縮,驅動到排氣口,由前級抽走的一種真空泵。由于簡易牽引泵的型槽開在轉子圓筒的外表面或泵的內表面上,所以可以充分利用圓筒外圓較高的線速度來傳遞氣體分子的動量,提高泵的抽氣效果。
由于渦輪級的抽氣面積大,抽氣速度很高,而牽引級的凹槽抽氣面積小,在兩種結構的連接處,被渦輪葉片壓縮的氣體分子的流動方式發生突變,使得氣體分子的運動在連接處由有序變為無序,導致回流增加,抽氣能力下降。
分子泵廠家認為分子泵工作時,轉速很高(每分鐘幾萬轉)。在加減速的過程中,不可避免地要經過一些危險的共振頻率。在這些共振頻率下長時間運行會增加軸承負荷,從而增加分子泵失效的風險。當泵在真空下自然停止(空擋滑行)時,由于真空下的空氣阻力很小,分子泵的轉子完全停止需要幾分鐘甚至幾個小時,在共振頻率下的運行時間會更長。
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