1912年，德國分子泵廠家生產了世界上第一臺分子泵。它的轉子直徑為50毫米，轉子上開有八個不同大小的槽。轉速為12000 r/min，泵送速度約為1.5 L/s，這種泵的工作原理與現代分子泵一致，但由于故障較多，很快被淘汰，未能推廣。

早期分子泵廠家生產的分子泵都是牽引分子泵，體積大、泵速低、間隙小、故障多，在應用上受到很多限制，只能在一些特殊領域使用，無法推廣。

1957年，德國分子泵廠家生產了一種新型分子泵，命名為渦輪分子泵。泵的結構為臥式，泵腔內設有轉子和定子排。氣體從位于泵中心的吸入口進入，通過吸入通道流向泵體兩側，被各排壓縮，最后從排氣口排出。渦輪分子泵轉子由19級葉片組成，直徑170 mm，轉速16000 r/min，泵送速度140l/s。

1966年，法國分子泵廠家研制出轉子直徑286 mm、轉速12000 r/min、泵送速度650 L/s的14級立式渦輪分子泵，開創了立式渦輪分子泵的先河。

中國渦輪分子泵行業起步較早。1964年，上海分子泵廠家成功研制出FW-140臥式渦輪分子泵，填補了我國在該領域的空白。然而，由于磁懸浮技術的設計、加工和應用的不足，渦輪分子泵在我國仍處于落后狀態。

目前，現代分子泵廠家生產的分子泵的基本結構基本上是臥式和立式。臥式分子泵具有抽氣時轉子受力均勻，軸承定位受力狀態好，使用壽命長，軸承更換時轉子位置固定，維修方便的特點。立式分子泵的裝配工藝比臥式分子泵簡單，因此近年來分子泵廠家生產的立式分子泵的發展非常迅速。

分子泵自誕生以來，已有近百年的歷史。隨著各種科學技術的不斷進步，分子泵技術也取得了許多創新和突破，現代分子泵正朝著智能化、柔性化、高效化的方向發展。

據分子泵廠家了解，近年來，隨著控制理論和計算機技術的快速發展及其在分子泵中的應用，分子泵實現了計算機控制，從而實現了泵的啟停和調速的遠程控制。同時，基于信息技術，可以建立完善的安全監控系統，使分子泵向智能化發展。

分子泵廠家知道泵速是分子泵的核心參數，提高轉速是提高泵速直接的途徑之一。隨著動平衡技術的發展，分子泵轉子能夠在超高轉速下平穩運行。隨著材料科學的發展，分子泵的轉子材料也發生了變化，可以采用硬質鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料，進一步提高了轉子轉速。